K216-A1 マイクロマシン・センサシステム 光MEMSとマイクロ流体デバイス他
3月15日 午前 K216会場
3-104- RF-MEMSスイッチにおける熱変形量の測定について
- ○森口 誠・佐藤正武（オムロン）・藤城泰文・溝尾 律・吉岡雄一（住友金属テクノロジー）・渡辺秀明（オムロン）
3-105- 金電解めっきを用いた大変位MEMSミラーに関する研究
- ○橋野義弘・吉田憲弘・藤田孝之・前中一介・高山洋一郎（兵庫県立大学）
3-106- 直接電解金めっき法によるMEMS-RLG用Siミラーの反射率向上
- ◎橋本泰知・中道 傑・前中一介・藤田孝之・高山洋一郎（兵庫県立大学）
3-107- Z軸微小振動およびX,Y 2軸傾斜機能を有する電磁駆動型光MEMSミラーの開発
- ○渡部善幸・三井俊明・阿部 泰（山形県工業技術センター）
3-108- バルクマイクロマシニング技術を用いたERバルブの作製と評価
- ◎齋藤義憲・原田知親・奥山澄雄・長沼 博・松下浩一・中野政身（山形大学）
3-109- 表面弾性波応用マイクロ流体システム
- ◎佐藤誠人・桑野博喜・長澤純人・佐野拓也（東北大学）
3-110- 回転せん断流マイクロポンプの評価
- ◎鉢嶺清円（奈良先端科学技術大学院大学）・堀池重吉・西本尚弘・中西博昭・吉田多見男（島津製作所）
3-111- CMOS集積回路と一体化可能なスマート微小流体デバイスの提案
- ◎三宅康夫・澤田和明・高尾英邦・石田 誠（豊橋技術科学大学）
K216-A2 マイクロマシン・センサシステム センサシステム他
3月15日 午前 K216会場
3-112- ディスク型MEMS振動子のモード特性に関する考察
- ○昆野舜夫・池原 毅・Lu Jian（産業技術総合研究所）・三原孝士（オリンパス）
3-113- 周期加熱法を応用したフローセンサの回路モデル化
- ○木村 修・嘉山春男・金岡佳充（矢崎総業）・木村繁男・木綿隆弘（金沢大学）・Vynnycky Michael（スェーデン王立工科大学）
3-114- 無線電力供給型Si-MEMSマイクロセンサに向けた集積化RF-DC変換回路の設計
- ○木綱俊輔・高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学）
3-115- networkセンサの動的接続管理の一手法
- ○沖野浩二（富山大学）
3-116- 電気・超音波統合型センサを用いた硬さセンシング手法の提案
- ◎松江陽平・木本 晃・信太克規（佐賀大学）
3-117- 被ばく管理用ゲートシステムの開発
- ○松添雄二・松本栄治（富士電機アドバンストテクノロジー）・今井 稔・山内英嗣（富士電機システムズ）
K216-A3 マイクロマシン・センサシステム X線と3次元加工他
3月15日 午後 K216会場
3-118- Poly-Si微細構造体による回折格子用X線マスクの作製
- ◎嶋田和真・田中誠人・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-119- 単結晶Si微細構造体によるX線マスクの作製
- ○辻井 浩（姫路工業大学）・嶋田和真・田中誠人・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-120- X線を用いた回折露光によるテーパー溝形状の作製
- ◎田靡 京（姫路工業大学）・船曳陽一（ナノクリエート）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-121- 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製
- ○稲本好輝・平井義和・菅野公二・土屋智由・田畑 修（京都大学）
3-122- ロールエンボスによる微細パターンの成形
- ◎石澤直也（兵庫県立大学）・出井一義（中西金属工業）・木村太郎・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-123- UV-LIGAプロセスによるライティングパネルの開発
- ◎野村俊文・田中貴記・木村太郎（兵庫県立大学）・出井一義（中西金属）・佐和吉敬（佐和鍍金工業）・山下健治（ナノクリエート）・糸魚川貢一（東海理化）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-124- 積層平面マイクロコイルの製作
- ◎須永泰由・鳥居 粛（武蔵工業大学）
3-125- 電磁駆動アクチュエータ用立体コイルラインの形成
- ◎瀬戸本 勝（姫路工業大学）・松本吉史・山下修平・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-126- DMD露光機を利用した3次元構造体作製に関する研究
- ◎田口正敏・前中一介・藤田孝之・高山洋一郎（兵庫県立大学）
K216-A4 マイクロマシン・センサシステム デバイス・プロセス開発他
3月15日 午後 K216会場
3-127- コムドライブアクチュエータを用いたAFMシステムに関する研究
- ◎鈴木勝順・綾野賢治郎・橋口 原（香川大学）
3-128- ナノ領域温度計測用マイクロシステム -コンセプトと作製プロセス-
- ◎田中克洋・桑野博喜・長澤純人（東北大学）
3-129- マイクロイオン源に関する研究―コンセプトと作製法―
- ◎田面木真也・桑野博喜・長澤純人（東北大学）
3-130- ドライエッチングにおける選択比の動的制御とその応用
- ◎加藤 寛（東北大学）・鍋澤浩文（富山県工業技術センター）・西澤松彦・安部 隆（東北大学）
3-131- 厚膜SOI基板上のCMOS/MEMS集積化に向けた酸化膜ブリッジ構造による相互配線の形成
- ◎市川武彦・高尾英邦（豊橋技術科学大学）・清水武士（セイコーエプソン）・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学）・村田昭浩（セイコーエプソン）
3-132- 微小針を用いた細胞修飾システムの研究
- ◎高山洋佑・桑野博喜・長澤純人（東北大学）
3-133- H2Oイオンによる表面改質と異種材料接合
- ◎西本和史（姫路工業大学）・植田寛康（東海理化）・石澤直也・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-134- 光触媒機能を有するマイクロリアクターチップの作製と揮発性有機化合物の分解率評価
- ◎木下紘一（奈良先端科学技術大学院大学）・西野正憲・西本尚弘・中西博昭・吉田多見男（島津製作所）
3-135- 界面活性剤とプラズマ表面処理法を用いたポリマー表面の細胞接着性の制御
- ◎松本真寛・関根宗一郎・梶 弘和・西澤松彦・安部 隆（東北大学）
K216-B1 フィジカルセンサ（I）
3月16日 午前 K216会場
3-136- 挿入形マイクロ波濃度形用アンテナの改良
- ◎渡邉一弘・金子裕行・山本勝也（東芝）
3-137- 共振周波数の異なる超音波フェイズドアレイセンサを用いた物体位置計測
- ○山下 馨・岩橋啓介・大村勇樹・奥山雅則（大阪大学）
3-138- 圧電型超音波マイクロセンサのダイアフラム構造制御による感度変化
- ◎梅川 淳・山下 馨・吉崎智也・清水信樹・奥山雅則（大阪大学）
3-139- ドライエッチングを用いたマイクロ超音波センサの作製
- ○田中恒久・井上幸二（大阪府立産業技術総合研究所）・山下 馨・奥山雅則（大阪大学）
3-140- PZT薄膜を用いたMEMSジャイロスコープの設計
- ◎伊賀友樹・瀧野文哉・前中一介・藤田孝之・高山洋一郎（兵庫県立大学）
3-141- 厚みすべり振動を用いたバルクPZTジャイロスコープに関する研究
- ◎田中佳人・小原弘士・前中一介・藤田孝之・高山洋一郎（兵庫県立大学）
3-142- MEMS ガスレートジャイロにおける往復流を用いたポンプの検討
- ◎高瀬 誠・龍井良明・前中一介・藤田孝之・高山洋一郎（兵庫県立大学）
K216-B2 フィジカルセンサ（II）
3月16日 午前 K216会場
3-143- 静電容量型センサの高速，低消費電力AD変換器
- ○工藤高裕（富士電機アドバンストテクノロジー）・木代雅巳（富士電機システムズ）・涌井伸二（東京農工大学）
3-144- マルチ環境センサを指向した加速度センサと周辺回路に関する研究
- ◎鈴木文章・藤田孝之・前中一介・高山洋一郎（兵庫県立大学）
3-145- MEMS振動型加速度センサの他軸感度低減
- ○岡田宏紀・三木芳彦・前中一介・藤田孝之・高山洋一郎（兵庫県立大学）
3-146- カンチレバー型触覚センサ用シリコン・ポリマーピーム構造の作製と評価
- ◎黄 裕銘・山下 馨・寒川雅之・金島 岳・野田 実・奥山雅則（大阪大学）・野間春生（ATR）
3-147- 電流検出型熱電対を用いたMAB構造赤外線センサと新赤外線吸収膜の提案
- ○小山克人・木村光照（東北学院大学）
3-148- ダイオードヒータによるMAB構造の温度特性
- 佐藤万寿治・小山克人・米倉 洋・○木村光照（東北学院大学）
3-149- 高速応答サーミスタの評価
- ○稲口 隆・福原勝彦（三菱電機）
3-150- 交流信号重畳を用いたダイオード温度センサにおける温度比例出力のダイオード依存性の検討
- ◎高嶋徳明・佐藤万寿治・木村光照（東北学院大学）
3-151- MEMS技術を用いた有機単結晶の熱伝導率測定デバイス
- ○宇野真由美（大阪府立産業技術総合研究所）・岡田悠悟・竹谷純一（大阪大学）
K216-C1 ケミカルセンサ ガスセンサ
3月17日 午前 K216会場
3-152- 金属酸化物を用いたT−VOCセンサの開発
- ○角崎雅博・坂井雄一・田村幾夫・横山義之・釣谷浩之（富山県工業技術センター）
3-153- 酸化スズ膜を用いたアセトアルデヒドガスセンサの金属添加による高感度化
- ◎氏原洋輔・高 巍・長谷川有貴・勝部昭明（埼玉大学）
3-154- Pt-FET 型水素センサの選択性評価
- ◎中田章太・山口富治・紀和利彦・山田博信・塚田啓二（岡山大学）
3-155- プロトンポンピングゲート構造をもったFET型水素センサ
- ○塚田啓二・山口富治・紀和利彦・山田博信（岡山大学）
3-156- FET型水素センサのガス選択性改善
- ◎山口富治・滝澤正教・紀和利彦・山田博信・塚田啓二（岡山大学）
3-157- レーザアブレーション法を用いた高速・高感度H2ガスセンサの開発
- ◎高坂大樹・高 巍・長谷川有貴・勝部昭明（埼玉大学）
3-158- 誘電泳動によるパラジウムナノ粒子集積と水素ガスセンサへの応用
- ◎山根真司・樋高慎一郎・今坂公宣・東畠三洋・末廣純也・岡田龍雄（九州大学）
K216-C2 ケミカルセンサ ガスセンサ
3月17日 午前 K216会場
3-159- テラヘルツ波pHセンサーシステムの開発
- ◎近藤純一・岡 昇平・紀和利彦（岡山大学）・川山 巌（大阪大学）・山田博信（岡山大学）・斗内政吉（大阪大学）・塚田啓二（岡山大学）
3-160- 銀ナノ構造体とLED光源を用いた小型SPRガスセンサ
- ◎佐藤正敬・香川譲徳・沼田孝之・梅田倫弘・石田 寛（東京農工大学）
3-161- ガス漏れの判定方法の検討
- ○中島 隆・小野 隆（日本大学）
3-162- 自律移動ロボットによる室内微風速環境下の匂い・ガス源探知
- ◎小林大輔・牛久 崇・石田 寛（東京農工大学）
3-163- 飛行船ロボットによるガスプルームの検出
- ◎石川浩一・山内知奈津・佐藤正敬・石田 寛（東京農工大学）
3-164- ガスセンサを用いた大気環境計測システムにおける計測精度の向上
- ◎皆川勇一・石田 寛（東京農工大学）
3-165- QCMアンモニアセンサの透析診断応用
- ◎小崎康宏（慶應義塾大学）・石田 等（桐蔭横浜大学）・阿部直樹（SNT）・辻 毅一・佐藤敏夫（桐蔭横浜大学）・白鳥世明（慶應義塾大学）
K216-C3 ケミカルセンサ バイオセンサ
3月17日 午後 K216会場
3-166- 嗅覚順応モデルを応用した匂いセンシングシステム
- ◎山中高夫（上智大学）
3-167- 高臨場感嗅覚ディスプレイを実現するための数値流体シミュレーション
- ◎茂木正博・石田 寛（東京農工大学）
3-168- 膜内脂質濃度変化にともなう味センサ感度の向上
- ○飯山 悟・江崎 秀（近畿大学）・都甲 潔（九州大学）
3-169- 旨味強度と味センサの温度依存性
- ○江崎 秀・八尋美希・飯山 悟（近畿大学）・都甲 潔（九州大学）
3-170- 光・電気積層型センサを用いた溶液の成分測定-コーヒーとミルク濃度測定-
- ○牧迫拓郎・木本 晃・信太克規（佐賀大学）
3-171- ポリアニリン化学重合膜を用いた酵素スイッチ
- 方 連鋒・入部康敬・○鈴木正康（富山大学）
3-172- マイクロ溶液プラグによる逐次反応型マイクロバイオセンシングシステム
- ◎清水義文・佐藤 航・福田淳二・鈴木博章（筑波大学）
3-173- 微細構造を形成した金電極表面でのエレクトロウェッティングとその応用
- ◎横幕浩臣・佐藤 航・鈴木博章（筑波大学）
3-174- マイクロスケールインピーダンス計測法による損傷大腸菌の誘電特性と代謝活性の相関検証
- 尼子恵里・○内田 諭（首都大学東京）・円城寺隆治（エンテストジャパン）・杤久保文嘉（首都大学東京）
3-175- 歩行動作による植物の生体電位変化の解析
- ◎田村祐輔・広林茂樹・山淵龍夫（富山大学）・大薮多可志（金沢星陵大学）